納米表征與納米器件中心

      

 納米表征與納米器件中心網上預約平台:http://wnlo-hust.ylab.cn 

 

聯系人:蘇老師  郵箱:jsu@hust.edu.cn


       本中心在國家實驗室和王中林院士的領導下,從2010起開始建設,曆時3年,現已成功安裝四台電子顯微鏡,它們分别是:300 kV電子束球差校正透射電子顯微鏡(300 kV Titan Probe corrected TEM,Titan G2 60-300),掃描電鏡/聚焦離子束電鏡系統 (Quanta 3D FEG Dualbeam),200 kV高分辨透射電子顯微鏡(200 kV HRTEM,Tecnai G2 20 U-Twin)和熱場發射掃描電鏡(Nova NanoSEM 450)。 此平台的建設對國家實驗室、學校乃至中南地區的光電子學,生物醫學,物理學,材料學,化學等學科領域的基礎研究起到重要的支撐和服務。


 

 

 

300 kV電子束球差校正透射電鏡

    高分辨透射電鏡的分辨率一般可以達到2 Å,經過多年的發展,通過提高加速電壓來提高分辨率遇到了技術上的瓶頸。球差校正技術的誕生提供了突破1 Å分辨率的途徑,Titan就是在這個情況下應運而生,可達到0.78 Å的分辨率。除常規功能外,此電鏡可進行EELSEDS的分析與元素分布成像。冷台、熱台、力台和電台的原位分析的功能材料與器件研究。

 

 


 


掃描電鏡/聚焦離子束電鏡系統

    SEM/FIB雙束系統主要用于在金屬、半導體、電介質、多層膜結構等固體樣品上制備微納結構。同時,配備納米機械手之後,可以定點制備TEM樣品,此儀器是探索決定物質表觀特性微觀本質的強有力工具。

 
 


 200 kV高分辨透射電子顯微鏡

 該透射電鏡具有如下功能。形貌分析:獲得非晶材料的質厚襯度像,多晶材料的衍射襯度像和單晶薄膜的相位襯度像(原子像)。結構分析:電子衍射,原子位錯,孿晶類型,晶界結構等研究。成分分析:小到納米尺度的微區或晶粒的成分分析。

 

 


 



熱場發射掃描電鏡

    以波長極短的電子束聚焦後在樣品表面掃描,接收從樣品表面激發出的二次電子信号成像。主要用于觀察固體表面的形貌,也能與EBSD或電子能譜儀相結合,構成電子微探針,用于物質成分分析。此電鏡可對導電率小的材料分析還可進行環境氣氛下材料研究。